[发明专利]一种阳极键合设备在审
| 申请号： | 201710324469.4 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107364828A | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 郑志霞;何灏泽;黄赛琴 | 申请（专利权）人： | 莆田学院 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 王玉平 |
| 地址： | 351100 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明属于实验用具技术领域，涉及一种阳极键合设备，包括加热板，加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统，加热板与加热板加热电源电连接，加热温控系统分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；加热板的上端通过支架安装有数据采集装置，数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接。该阳极键合设备不管是高压直流键合或是高压脉冲键合，使用该设备都能成功实现不同埋氧层厚度的SOI片与玻璃之间在大气环境下的键合；对键合片进行测试表明，该键合设备对SOI器件性能不产生引响；因为该键合设备的键合电压没有改变，高压脉冲电源只是提高SOI耗尽层中离子的瞬间扩散速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 设备 | ||
【主权项】：
一种阳极键合设备，其特征在于，所述阳极键合设备设置有加热板；所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统；加热板通过导线与加热电源电连接；加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；加热板的上端通过支架安装有数据采集装置；数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接；所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。
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