[发明专利]一种蒸发源及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710318354.4 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107012432B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李晓康;何瑞亭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸发源和蒸镀装置。该蒸发源包括：至少一个喷嘴、坩埚盖和坩埚本体；所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；所述坩埚盖覆盖在所述坩埚本体的开口上；所述坩埚本体包括：第一蒸发槽和至少一个第二蒸发槽，所述第二蒸发槽嵌套环绕在所述第一蒸发槽的外围；所述第一蒸发槽的槽口处覆盖第一内板，所述第一内板上设置有第一通孔；所述第二蒸发槽的槽口处覆盖第二内板，所述第二内板上设置有第二通孔，所述第二内板的外表面朝向所述第一蒸发槽倾斜设置。本发明实施例将第二内板朝向第一蒸发槽倾斜设置，使得从第二蒸发槽喷出的蒸汽可与第一蒸发槽喷出的蒸汽充分混合均匀后，从喷嘴中喷出并蒸镀到基板上，提高基板表面蒸镀的材料的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发槽 内板 坩埚本体 喷嘴 蒸发源 坩埚盖 喷出 倾斜设置 蒸镀装置 槽口处 通孔 蒸汽 覆盖 基板表面蒸镀 嵌套 充分混合 均一性 基板 蒸镀 开口 环绕 外围 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，包括：至少一个喷嘴、坩埚盖和坩埚本体；所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；所述坩埚盖覆盖在所述坩埚本体的开口上；其特征在于，所述坩埚本体包括：第一蒸发槽和至少一个第二蒸发槽，所述第二蒸发槽嵌套环绕在所述第一蒸发槽的外围；所述第一蒸发槽的槽口处覆盖第一内板，所述第一内板上设置有第一通孔；所述第二蒸发槽的槽口处覆盖第二内板，所述第二内板上设置有第二通孔，所述第二内板的外表面朝向所述第一蒸发槽倾斜设置；所述蒸发源还包括：第一通管和第一速率检测器；其中，所述第一通管与所述第一蒸发槽的内部连通，所述第一通管的一端设置在所述第一蒸发槽的侧壁上，并且位于所述第一蒸发槽的最大容纳高度所在的平面和所述第一蒸发槽的槽口的端面之间，所述第一通管的另一端延伸出最外侧的所述第二蒸发槽的侧壁；所述第一速率检测器设置在所述第一通管内，用于检测所述第一蒸发槽的蒸镀速率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710318354.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
