[发明专利]基于杯形波动陀螺的压电电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201710316397.9 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107227458A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 崔岩;虞梦琳;曲天良;刘兵;孔祥新;谷旺 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;G01C19/5691 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 温福雪,侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于杯形波动陀螺的压电电极及其制备方法，属于执行器、传感器设计制造技术领域。所述的压电电极，为三层结构，从下到上依次为公共底电极、PZT层和顶电极；公共底电极主体为八个矩形电极块，通过圆环结构将八个矩形电极块连为一体结构；PZT层的结构与公共底电极的结构相同，在PZT层的圆环结构上设有八个引线孔，每两矩形电极块之间设有一引线孔；顶电极为八个矩形电极块，其溅射于PZT层的对应矩形电极块处，矩形电极块的端部设有顶电极引线位置。本发明的压电电极提高了输入增益和压电驱动、压电检测的振动能量传递的效率，优化了陀螺仪压电电极制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波动 陀螺 压电 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于杯形波动陀螺的压电电极，其特征在于，所述的压电电极为三层结构，从下到上依次为公共底电极、PZT层和顶电极；公共底电极的主体为八个矩形电极块，通过圆环结构将八个矩形电极块连为一体结构，材料和厚度均相同；PZT层的结构与公共底电极的结构相同，在PZT层的圆环结构上设有8个引线孔，每两矩形电极块之间设有一引线孔；顶电极为八个矩形电极块，其溅射于PZT层的对应矩形电极块处，矩形电极块的端部设有顶电极引线位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学，未经大连理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710316397.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗核辐射复合材料
- 下一篇：镁铝合金外壳、终端及镁铝合金表面处理方法
- 同类专利
- 专利分类
