[发明专利]基于杯形波动陀螺的压电电极及其制备方法

权利要求书

1.一种基于杯形波动陀螺的压电电极，其特征在于，所述的压电电极为三层结构，从下到上依次为公共底电极、PZT层和顶电极；公共底电极的主体为八个矩形电极块，通过圆环结构将八个矩形电极块连为一体结构，材料和厚度均相同；PZT层的结构与公共底电极的结构相同，在PZT层的圆环结构上设有8个引线孔，每两矩形电极块之间设有一引线孔；顶电极为八个矩形电极块，其溅射于PZT层的对应矩形电极块处，矩形电极块的端部设有顶电极引线位置。

2.一种基于杯形波动陀螺的压电电极的制备方法，其特征在于，步骤如下：

第一步，对杯形波动陀螺的谐振子底面进行抛光、清洗、甩胶、光刻和显影；

第二步，在谐振子底面先溅射一层30～50nm Ti层、再溅射一层150～200nmPt层，去胶并剥离溅射的Ti、Pt层，得到公共底电极；

第三步，清洗第二步制得的谐振子底面表面，并制备PZT前驱液；采用溶胶-凝胶法在谐振子底面制备PZT薄层，经过多次重复操作，得到PZT层；

第四步，在PZT层表面进行甩胶、光刻和显影，并溅射Pt层，去胶并剥离，去除电极之外多余的Pt层，得到顶电极；

第五步，在顶电极的表面，甩胶、光刻和显影，并利用PZT腐蚀液腐蚀多余的PZT，形成所需图案的PZT层，同时露出底电极引线孔。