[发明专利]一种线圈、介质筒和等离子体腔室有效
| 申请号： | 201710308023.2 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN108575042B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 肖德志;琚里 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线圈、介质筒和等离子体腔室。该线圈包括螺线管和设置在螺线管上的子线圈；子线圈的轴线与螺线管的轴线夹角大于0°且小于180°，使子线圈产生的磁场与螺线管产生的磁场具有不同的方向，以增加螺线管内的磁力线的水平分量。本发明等离子体腔室，包括腔体和主等离子体产生装置；主等离子体产生装置包括：射频电源、匹配器和主线圈，射频电源通过匹配器与主线圈电连接,以产生等离子体；等离子体腔室还包括设置在腔体侧壁的辅助等离子体产生装置；辅助等离子体产生装置包括激励电源和本发明的线圈；该线圈套置于腔体侧壁的内侧。采用本发明线圈的等离子体腔室，提高腔室内磁力线水平分量，减小晶圆表面损伤，且提高其处理速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线圈 介质 等离子 体腔 | ||
【主权项】：
1.一种线圈，其特征在于，所述线圈包括螺线管和设置在所述螺线管上的子线圈；所述子线圈的轴线与所述螺线管的轴线夹角大于0°且小于180°，使所述子线圈产生的磁场与所述螺线管产生的磁场具有不同的方向，以增加所述螺线管内的磁力线的水平分量。
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