[发明专利]一种线圈、介质筒和等离子体腔室

权利要求书

1.一种等离子体腔室，所述腔室包括腔体和主等离子体产生装置；所述主等离子体产生装置包括：射频电源、匹配器和主线圈I，所述射频电源通过所述匹配器与所述主线圈I电连接,以产生等离子体；其特征在于，

所述等离子体腔室还包括设置在所述腔体侧壁的辅助等离子体产生装置；其中，

所述辅助等离子体产生装置包括激励电源和线圈II；所述线圈II用于产生等离子体，所述线圈II包括螺线管和设置在所述螺线管上的子线圈；

所述子线圈的轴线与所述螺线管的轴线夹角大于0°且小于180°，使所述子线圈产生的磁场与所述螺线管产生的磁场具有不同的方向，以增加所述螺线管内的磁力线的水平分量，从而约束所述等离子体；其中，

所述子线圈包括多个，多个所述子线圈环绕螺线管且均匀分布于所述螺线管上；

所述激励电源和所述线圈II电连接，用于向所述线圈II提供功率信号以在所述线圈II内产生磁场；

所述等离子体腔室还包括介质筒，所述介质筒设置于所述腔室侧壁内侧，并与腔室侧壁具有一定间距；其中，

所述线圈II设置于所述腔体侧壁和所述介质筒之间，所述介质筒为圆筒状，所述线圈II绕制于所述介质筒上；

所述介质筒包括筒体，在所述筒体的外壁上还设置有多个凸起的侧肢，所述侧肢的轴线与所述筒体的轴线夹角大于0°且小于180°，所述筒体和所述侧肢均用于绕制所述线圈II，以使得绕制在所述筒体上的所述线圈II中产生的磁场的磁场方向沿所述筒体的轴线方向；以及使得绕制在所述侧肢上的所述线圈II中产生的磁场的磁场方向沿所述侧肢的轴线方向；其中,

所述螺线管绕制于所述介质筒的筒体上，所述子线圈绕制于所述介质筒的侧肢上，所述侧肢作为所述线圈II的子磁芯。

2.根据权利要求1所述的等离子体腔室，其特征在于，所述筒体和所述侧肢的材质相同，所述筒体和所述侧肢的材质为铝、陶瓷或铜。

3.根据权利要求1所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子线圈的轴线与所述螺线管的轴线垂直。

4.根据权利要求1所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子线圈的绕制形状呈曲线状。

5.根据权利要求1所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子线圈的绕制形状包括圆环状和半圆环状。

6.根据权利要求1所述的等离子体腔室，其特征在于，还包括多个子磁芯，每个所述子线圈对应绕制在一个所述子磁芯上。

7.根据权利要求6所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子磁芯的材质包括铝、陶瓷或铜。

8.根据权利要求6所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子线圈的绕制形状为圆环状，所述子线圈对应绕所述子磁芯一周。

9.根据权利要求6所述的等离子体腔室，其特征在于，所述子线圈的绕制形状为半圆环状，同一圈的所述子线圈位于其对应所述子磁芯的同侧；

相邻两圈的所述子线圈位于其对应所述子磁芯的同侧；或者，相邻两圈的所述子线圈位于其对应所述子磁芯的不同侧。