[发明专利]一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器及其制备方法，具体是以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底，利用磁控溅射法生长氧化锌半导体薄膜，再将叉指电极掩膜版紧贴在氧化锌半导体薄膜上，在叉指电极掩膜版和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜叉指电极掩模版上采用电子束蒸发方法生长金属薄层，移除叉指电极掩膜版后、在氧化锌半导体薄膜上制造有金属电极，最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。本发明以高雾度的透明纤维素薄膜为衬底生长氧化锌半导体薄膜，并制备了柔性的紫外光电探测器，该器件具有针对紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。高雾度的透明纤维素衬底可以起到陷光作用，因此提高紫外光电探测器的响应度。

主权项

一种纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）采用磁控溅射法在高雾度的透明纤维素薄膜（1）上生长氧化锌半导体薄膜（2）；2）将叉指电极掩模版（4）紧贴在氧化锌半导体薄膜（2）上；3）在叉指电极掩膜版（4）和未被叉指电极掩膜版遮盖的氧化锌半导体薄膜（2）上采用电子束蒸发方法生长金属薄层（5）；4）移除叉指电极掩膜版（4）后、在氧化锌半导体薄膜（2）上制造有金属电极（3），最终制备获得纤维素基柔性氧化锌紫外光电探测器。