[发明专利]一种电子型的法布里-珀罗干涉器件及制备方法

摘要

本发明提供了一种电子型的法布里‑珀罗干涉器件及制备方法。器件包括用于探测边缘态的干涉信号的测量单元以及独立设置于样品的预设区域处的表征单元。测量单元包括样品、导电通道、欧姆接触和顶门结构。第一导电通道位于样品的预设区域内并具有预定的霍尔条形状，通过刻蚀样品制成，与样品为一体式结构，用于导通电流。欧姆接触分布于导电通道的周围，用于作为导电电极。顶门结构位于第一导电通道上表面中心处，分别与欧姆接触相连，用于产生周期性的干涉振荡，改变所述样品的特性。本发明还提供了一种用于制备法布里‑珀罗干涉器件的制备方法。采用本发明的器件及制备方法，不仅优化了器件的结构，还节省了制备时间，降低了制备成本。

主权项

1.一种电子型的法布里‑珀罗干涉器件，包括用于探测边缘态的干涉信号的测量单元以及独立设置于样品的预设区域处的表征单元，所述表征单元用于表征样品的特性，其中，所述测量单元包括：样品，为异质结材料，在预设区域内具有平整的上表面，所述样品具有导电层；第一导电通道，通过刻蚀所述样品形成在所述预设区域内并具有预定的霍尔条形状，与所述样品为一体式结构，用于导通电流，所述第一导电通道的图案为长方形；多个欧姆接触，与所述样品相接触，分布于所述第一导电通道的周围，用于作为导电电极，所述多个欧姆接触分为第一组欧姆接触和第二组欧姆接触，所述第一组欧姆接触中包含四个所述欧姆接触，为第一至第四欧姆接触，分别连接于所述第一导电通道的长方形图案的四个顶点并与所述导电层相接触，所述第二组欧姆接触中包含六个所述欧姆接触，为第五至第十欧姆接触，对称分布于所述第一导电通道的长方形图案中相对的两侧且不与所述导电通道相连；和三对顶门结构，位于所述第一导电通道上表面中心处，分别与所述第五至第十欧姆接触相连，是形成干涉器件的核心部分，用于产生周期性的干涉振荡，改变所述样品的特性。