[发明专利]一种传送装置

摘要

本发明公开了一种传送装置，属于半导体加工技术领域。该传送装置包括转动件和至少一组传送轮，传送轮安装在转动件上，每组传送轮包括多个滚轮，每组传送轮包括多个滚轮，每组传送轮中的多个滚轮以转动件的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组传送轮中的多个滚轮的转动轴线与转动件的转动轴线位于不同的平面，由于多个滚轮以转动件的转动轴线为中心线，围绕转动件呈圆周布置，因此在进行传送时，多个滚轮绕转动件的中心线公转，可以将玻璃基板沿传送线的方向传送。由于滚轮的转动轴线与转动件的中心线位于不同的平面上，因此推动玻璃基板在垂直于传送线方向上移动时，滚轮可以自转，减小了滚轮与玻璃基板的摩擦力，降低玻璃基板破损的可能。

主权项

1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括至少一个转动件和用于承载待传送件的至少一组传送轮，所述传送轮安装在所述转动件上，所述转动件用于带动所述传送轮转动，每组所述传送轮包括多个滚轮，每组所述传送轮中的多个滚轮以所述转动件的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组所述传送轮中的多个滚轮均可转动地安装在所述转动件上，且每组所述传送轮中的多个滚轮的转动轴线与所述转动件的转动轴线位于不同的平面；/n所述转动件上设置有以所述转动件的转动轴线为中心径向向外延伸的多根安装杆，所述多根安装杆位于同一平面，且所述多根安装杆以所述转动件的转动轴线为中心等角度圆周阵列排布，任意两根相邻的安装杆之间设有一个所述滚轮；所述转动件为安装轴套，所述安装轴套上设置有多个插孔，所述多个插孔绕所述安装轴套的轴线等角度间隔设置，所述安装杆的一端插装在所述插孔中，且每根所述安装杆与相应的所述插孔螺纹连接，每个所述安装杆的另一端均设置有反向延伸的两根支撑轴，所有的所述支撑轴均位于同一平面内，所述滚轮设置在相邻两根所述安装杆之间的两根所述支撑轴上，每个所述安装杆和连接在所述安装杆上的所述两根支撑轴位于同一平面上，且所述两根支撑轴与所述安装杆之间的夹角均为锐角，所述安装杆和连接在所述安装杆上的所述支撑轴之间的夹角与相邻两个所述安装杆之间的夹角的一半互余；/n所述滚轮与对应的所述支撑轴通过轴承连接，所述滚轮的两侧分别设置有凹槽，所述轴承设置在所述凹槽中，所述轴承的外圈与所述凹槽过盈配合；所述滚轮上设置有沿所述滚轮的转动轴线延伸的通孔，转动杆插设在所述通孔中，所述转动杆的两端分别与所述轴承的内圈过盈配合，所述转动杆的两端分别与所述支撑轴连接；/n所述转动杆的两端端面上均设置有连接凹槽，所述支撑轴插装在所述连接凹槽中，所述支撑轴呈锥型，所述支撑轴的靠近所述安装杆的一端的直径大于所述支撑轴的远离所述安装杆的一端的直径，所述连接凹槽对应的呈锥形，所述连接凹槽的槽底的直径小于所述连接凹槽的开口处的直径。/n