[发明专利]一种传送装置

说明书

本发明公开了一种传送装置，属于半导体加工技术领域。该传送装置包括转动件和至少一组传送轮，传送轮安装在转动件上，每组传送轮包括多个滚轮，每组传送轮包括多个滚轮，每组传送轮中的多个滚轮以转动件的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组传送轮中的多个滚轮的转动轴线与转动件的转动轴线位于不同的平面，由于多个滚轮以转动件的转动轴线为中心线，围绕转动件呈圆周布置，因此在进行传送时，多个滚轮绕转动件的中心线公转，可以将玻璃基板沿传送线的方向传送。由于滚轮的转动轴线与转动件的中心线位于不同的平面上，因此推动玻璃基板在垂直于传送线方向上移动时，滚轮可以自转，减小了滚轮与玻璃基板的摩擦力，降低玻璃基板破损的可能。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种传送装置。

背景技术

玻璃基板是一种表面极其平整的薄玻璃片，是平板显示(FlatPanel display,FPD)产业的关键基础材料之一，通常作为载体，用于制造TFT(英文：Thin FilmTransistor，中文：薄膜晶体管)等。

在生产过程中，玻璃基板通常都是放置在传送线上，通过传送线送往各个不同的设备进行加工。传送玻璃基板的传送线与通常的传送带不同，玻璃基板的传送线包括在传送方向上间隔平行排列的多根转轴，在每根转轴上间隔套装有多个滚轮，在进行玻璃基板的传送时，玻璃基板放置在多根转轴的滚轮上，玻璃基板的板面与滚轮的边缘接触，通过驱动滚轮转动，利用滚轮与玻璃基板之间的摩擦力将玻璃基板沿着传送线进行传送。

在玻璃基板被送入设备之前，需要对玻璃基板进行对位，将玻璃基板摆正，例如在传送长方形的玻璃基板时，通过对位使玻璃基板的长度方向与传送方向平行，且调整玻璃基板在垂直于传送方向上的位置，使玻璃基板对准设备的入口。玻璃基板的对位通常采用对位夹进行，对位夹成对设置在传送线的两侧，对位夹可以沿平行于转轴轴线的方向伸出，通过伸出对位夹推动玻璃基板，使玻璃基板在传送线上垂直于传送方向滑动，从而实现对玻璃基板的对位。但是在现有的传送线中，由于对位夹推动玻璃基板侧向滑动时，滚轮会对玻璃基板产生较大的摩擦力，因此对位夹需要产生较大的推力才能推动玻璃基板，而玻璃基板比较脆弱，在对位夹推动玻璃基板的过程中可能出现玻璃基板的破损，玻璃基板的破损不仅会造成大量玻璃基板的报废，同时还可能需要停机进行碎片清理，降低了生产效率。

发明内容

为了解决对玻璃基板进行对位时，玻璃基板容易破损的问题，本发明实施例提供了一种传送装置。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种传送装置，所述传送装置包括至少一个转动件和用于承载待传送件的至少一组传送轮，所述传送轮安装在所述转动件上，所述转动件用于带动所述传送轮转动，每组所述传送轮包括多个滚轮，每组所述传送轮中的多个滚轮以所述转动件的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组所述传送轮中的多个滚轮均可转动地安装在所述转动件上，且每组所述传送轮中的多个滚轮的转动轴线与所述转动件的转动轴线位于不同的平面。

优选地，每个所述滚轮的中心面和所述转动件的转动轴线位于同一平面，所述滚轮的中心面与所述滚轮的转动轴线垂直且所述滚轮关于所述中心面对称。

进一步地，所述转动件上设置有以所述转动件的转动轴线为中心径向向外延伸的多根安装杆，所述多根安装杆位于同一平面，且所述多根安装杆以所述转动件的转动轴线为中心等角度圆周阵列排布，任意两根相邻的安装杆之间设有一个所述滚轮。

优选地，每个所述安装杆的一端均与所述转动件连接，每个所述安装杆的另一端均设置有反向延伸的两根支撑轴，所有的所述支撑轴均位于同一平面内，所述滚轮设置在相邻两根所述安装杆之间的两根所述支撑轴上。

可选地，所述滚轮与对应的所述支撑轴通过轴承连接。

优选地，所述安装杆与所述转动件可拆卸连接。

进一步地，所述转动件为安装轴套或转轴。