[发明专利]光学度量中的测量对象的边缘确定的方法和设备有效
| 申请号： | 201710293320.4 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107339939B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | D.塞茨;N.哈弗坎普 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学度量中的测量对象的边缘确定的方法，包括以下步骤：在反射光照明下采集测量对象的第一图像数据；在透射光照明下采集测量对象的第二图像数据；以及基于使用第一图像数据和第二图像数据两者的评估确定测量对象的边缘的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 度量 中的 测量 对象 边缘 确定 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种光学度量中的测量对象(54)的边缘确定的方法，包括以下步骤：‑在反射光照明(56)下，采集所述测量对象(54)的第一图像数据；‑在透射光照明(58)下，采集所述测量对象(54)的第二图像数据；‑通过评估所述第一图像数据，确定所述测量对象(54)的边缘(62)的第一初步边缘位置；‑通过评估所述第二图像数据，确定所述测量对象(54)的所述边缘(62)的第二初步边缘位置；以及‑通过形成所述第一初步边缘位置与第二初步边缘位置之间的平均值，确定所述测量对象(54)的边缘位置，其中形成平均值包含形成加权平均值，所述加权平均值的加权取决于所述测量对象(54)与用来采集所述第一图像数据和所述第二图像数据的光学传感器(38)的光轴平行的尺寸，和/或取决于所述测量对象(54)的表面(60)相对于所述光轴的倾斜。
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