[发明专利]光学度量中的测量对象的边缘确定的方法和设备

权利要求书

1.一种光学度量中的测量对象(54)的边缘确定的方法，包括以下步骤：

-在反射光照明(56)下，采集所述测量对象(54)的第一图像数据；

-在透射光照明(58)下，采集所述测量对象(54)的第二图像数据；

-通过评估所述第一图像数据，确定所述测量对象(54)的边缘(62)的第一初步边缘位置；

-通过评估所述第二图像数据，确定所述测量对象(54)的所述边缘(62)的第二初步边缘位置；以及

-通过形成所述第一初步边缘位置与第二初步边缘位置之间的平均值，确定所述测量对象(54)的边缘位置，其中形成平均值包含形成加权平均值，所述加权平均值的加权取决于所述测量对象(54)与用来采集所述第一图像数据和所述第二图像数据的光学传感器(38)的光轴平行的尺寸，和/或取决于所述测量对象(54)的表面(60)相对于所述光轴的倾斜。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成平均值包含形成算术平均值。

3.一种光学度量中的测量对象(54)的边缘确定的方法，包括以下步骤：

-在反射光照明(56)下，采集所述测量对象(54)的第一图像数据；

-在透射光照明(58)下，采集所述测量对象(54)的第二图像数据；

-将所述第一图像数据标准化，以形成标准化的第一图像数据；

-将所述第二图像数据标准化，以形成标准化的第二图像数据；

-通过合成所述标准化的第一图像数据和所述标准化的第二图像数据，形成合成图像数据；以及

-基于所述合成图像数据，确定所述测量对象(54)的边缘(62)的位置。

4.根据权利要求3所述的方法，其中标准化所述第一图像数据和所述第二图像数据包括：

-将所述第一图像数据的动态范围标准化到预定值，并且将所述第二图像数据的动态范围标准化到所述预定值。

5.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述合成图像数据确定所述测量对象(54)的所述边缘位置包括：

-确定所述标准化的第一图像数据中的灰度级对应于所述标准化的第二图像数据中的灰度级的位置，并且确定所述标准化的第一图像数据的灰度级与所述标准化的第二图像数据的灰度级之间的差异为零的位置。

6.根据权利要求1或3所述的方法，其中在亮场反射光照明下采集所述测量对象(54)的所述第一图像数据，并且其中在亮场透射光照明下采集所述测量对象(54)的所述第二图像数据。

7.根据权利要求1或3所述的方法，还包括以下步骤：

-围绕水平轴线旋转所述测量对象(54)；

-在所述测量对象(54)已围绕所述水平轴线旋转之后，在反射光照明(56)下，采集所述测量对象(54)的第三图像数据；

-在所述测量对象(54)已围绕所述水平轴线旋转之后，在透射光照明(58)下，采集所述测量对象(54)的第四图像数据；

-基于使用所述第三图像数据和所述第四图像数据两者的评估，确定所述测量对象(54)的所述边缘(62)的其他位置；以及

-将基于所述第一图像数据和所述第二图像数据确定的所述测量对象(54)的所述边缘位置与基于所述第三图像数据和所述第四图像数据确定的所述测量对象(54)的所述边缘的其他位置进行比较。

8.根据权利要求7所述的方法，其中确定所述测量对象(54)的所述边缘的其他位置包括：

-通过评估所述第三图像数据，确定所述测量对象(54)的所述边缘(62)的第三初步边缘位置；

-通过评估所述第四图像数据，确定所述测量对象(54)的所述边缘(62)的第四初步边缘位置；以及

-通过形成所述第三初步边缘位置和所述第四初步边缘位置之间的平均值，确定所述测量对象(54)的所述边缘的其他位置。