[发明专利]用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法有效
| 申请号： | 201710287116.1 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107421645B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 让-雅克·约恩 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/20;G01J5/10;H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造包括至少一个热检测器(10)的电磁辐射检测装置(1)的方法，所述热检测器包括悬置在衬底(2)上方的吸收膜(11)并且旨在位于密封腔(3)中，所述方法包括以下步骤：‑在衬底(2)上沉积包括具有吸气效应的金属材料的、所谓吸气金属层(40)；‑在吸气金属层(40)上沉积非晶碳的所谓的碳质牺牲层(50)；‑在碳质牺牲层(50)上沉积至少一个牺牲矿物层(60A、60B)；‑使牺牲矿物层(60A)化学‑机械平面化；‑制造热检测器(10)，使得吸收膜(11)在牺牲矿物层(60A)上被制造；‑去除牺牲矿物层(60A、60B)；‑去除碳质牺牲层(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 吸气 材料 检测 电磁辐射 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造包括至少一个热检测器(10)的电磁辐射检测装置(1)的方法，所述热检测器(10)包括悬置在衬底(2)上方的、适于吸收待检测辐射的吸收膜(11)，所述热检测器旨在位于密封腔(3)中，所述方法至少包括以下步骤：‑在所述衬底(2)上沉积包括具有吸气效应的金属材料的、所谓的吸气金属层(40)；‑沉积所谓的碳质牺牲层(50)以覆盖所述吸气金属层(40)，所述碳质牺牲层包括能够通过第二化学蚀刻相对于所述吸气金属层(40)选择性地被蚀刻的、非晶碳的碳质材料；‑在所述碳质牺牲层(50)上沉积至少一个牺牲矿物层(60A、60B)，其包含能够通过第一化学蚀刻相对于所述碳质牺牲层(50)选择性地被蚀刻的矿物材料；‑使所述牺牲矿物层(60A)化学‑机械平面化；‑制造所述热检测器(10)，使得在所述牺牲矿物层(60A)上制造所述吸收膜(11)；‑通过所述第一化学蚀刻去除所述牺牲矿物层(60A、60B)；‑通过所述第二化学蚀刻去除所述碳质牺牲层(50)。
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