[发明专利]表面增强拉曼散射元件、以及制造表面增强拉曼散射元件的方法有效
| 申请号： | 201710277079.6 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN107255630B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 丸山芳弘;柴山胜己;伊藤将师;广畑彻;龟井宏记 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | SERS元件(2)具备：基板(21)，其具有表面(21a)；微细构造部(24)，其形成在主面(21a)上，具有多个支柱(27)；第1导电体层(31)，其以连续覆盖表面(21a)和微细构造部(24)的方式形成在表面(21a)和微细构造部(24)上；以及第2导电体层(32)，其以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙(G1,G2)的方式形成在第1导电体(31)上，第1导电体层(31)和第2导电体层(32)由相互相同的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 增强 散射 元件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种表面增强拉曼散射元件，其特征在于：具备：基板，其具有主面；微细构造部，其形成在所述主面上，并具有多个凸部；第1导电体层，其以连续覆盖所述主面和所述微细构造部的方式形成在所述主面和所述微细构造部上；以及第2导电体层，其以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙的方式形成在所述第1导电体上，第2导电体层的厚度的偏向大于第1导电体层的厚度的偏向，宽小于形成在相邻的一对所述凸部中的一个所述凸部的外面的所述第2导电体层与形成在另一个所述凸部的所述第2导电体层之间的距离的所述多个间隙，由所述第2导电体层的所述厚度的偏向而形成在所述第2导电体层。
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