[发明专利]表面增强拉曼散射元件、以及制造表面增强拉曼散射元件的方法

说明书

SERS元件(2)具备：基板(21)，其具有表面(21a)；微细构造部(24)，其形成在主面(21a)上，具有多个支柱(27)；第1导电体层(31)，其以连续覆盖表面(21a)和微细构造部(24)的方式形成在表面(21a)和微细构造部(24)上；以及第2导电体层(32)，其以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙(G1,G2)的方式形成在第1导电体(31)上，第1导电体层(31)和第2导电体层(32)由相互相同的材料构成。

(本申请是申请日为2013年8月9日、申请号为201380042590.8、发明名称为“表面增强拉曼散射元件、以及制造表面增强拉曼散射元件的方法”的专利申请的分案申请。)

技术领域

本发明是涉及表面增强拉曼散射元件、以及制造表面增强拉曼散射元件的方法。

背景技术

作为现有的表面增强拉曼散射元件，已知的有具备产生表面增强拉曼散射(SERS：Surface Enhanced Raman Scattering)的微小金属构造体的表面增强拉曼散射元件(例如参照专利文献1和非专利文献1)。在这样的表面增强拉曼散射元件中，如果拉曼光谱分析的成为对象的试样接触于微小金属构造体，并在该状态下对该试样照射激发光，则会产生表面增强拉曼散射，例如增强到10⁸倍左右的拉曼散射光被放出。

再者，例如在专利文献2中，记载了微量检测元件具备基板、形成在基板的一面的多个微小突起部、形成在微小突起部的上面和基板的一面的金属层。特别是在该微量物检测元件中，通过使形成在微小突起部的上面的金属层与形成在基板的一面的金属层成为非接触状态，从而在它们之间形成5nm～10μm左右的间隔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-33518号公报

专利文献2：日本特开2009-222507号公报

非专利文献

非专利文献1：Q-SERSTM G1Substrate,[online],OPTO SICENCE,IN.,[平成25年7月5日检索],InternetURL:http://www.optoscience.com/maker/nanova/pdf/Q-SERS_G1.pdf

发明内容

发明所要解决的技术问题

如以上所述，如果所谓的纳米间隙形成在微小金属构造体，则在照射有激发光时会引起局部电场增强，表面增强拉曼散射的强度被增大。

然而，在专利文献2所记载的微量物检测元件中，微小突起部的侧面和基板的一面的一部分从金属层露出。因此，通过由构成微小突起部和基板的材料，由于从微小突起和基板产生的气体等的影响而会有对金属层产生污染的情况。因此，作为构成微小突起部和基板的材料，有必要选择不产生使金属层产生污染的气体等那样的材料。其结果，设计的自由度降低。另外，如果打算要形成适当的纳米间隙，则有必要对微小突起部的形状下功夫。

因此，本发明的目的在于提供一种可以抑制设计自由度降低并且可以稳定形成纳米间隙的表面增强拉曼散射元件以及制造表面增强拉曼散射元件的方法。

解决技术问题的手段

本发明的一个侧面所涉及的表面增强拉曼散射元件具备：基板，其具有主面；微细构造部，其形成在主面上并且具有多个凸部；第1导电体层，其以连续覆盖主面和微细构造部的方式形成在主面和微细构造部上；以及第2导电体层，其以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙的方式形成在第1导电体上，第1和第2导电体层由彼此相同的材料构成。