[发明专利]表面增强拉曼散射元件、以及制造表面增强拉曼散射元件的方法

权利要求书

1.一种表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

具备：

基板，其具有主面；

微细构造部，其形成在所述主面上，并具有多个凸部；

第1导电体层，其以连续覆盖所述主面和所述微细构造部的方式形成在所述主面和所述微细构造部上；以及

第2导电体层，其以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙的方式形成在所述第1导电体上，

第2导电体层的厚度的偏向大于第1导电体层的厚度的偏向，

所述多个间隙的宽小于形成在相邻的一对所述凸部中的一个所述凸部的外面的所述第2导电体层与形成在另一个所述凸部的所述第2导电体层之间的距离。

2.如权利要求1所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述第2导电体层具有以沿着所述主面的方式形成的基部、以及在对应于各个所述凸部的位置从所述基部突出的多个突出部，

在所述基部，以在从所述凸部突出的方向看的情况下包围各个所述凸部的方式形成有多个槽，

所述间隙至少形成在所述槽内。

3.如权利要求2所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述间隙包含在所述槽内由所述基部和所述突出部形成的第1间隙、以及在所述槽内由所述基部和所述第1导电体层形成的第2间隙当中的至少一者。

4.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述槽以在从所述凸部突出的方向看的情况下包围各个所述凸部的方式环状地延伸。

5.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述突出部具有在所述基板侧的端部变窄的形状。

6.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

位于对应的所述槽内的所述突出部的一部分处于凝聚状态。

7.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述基部沿着所述槽的外缘隆起。

8.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述基部与所述突出部在所述槽的最深部相连。

9.如权利要求2或3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述基部与所述突出部在所述槽的最深部隔开。

10.如权利要求1～3中的任一项所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于：

所述凸部沿着所述主面周期性地排列。

11.一种制造表面增强拉曼散射元件的方法，其特征在于：

具备：

第1工序，其将具有多个凸部的微细构造部形成在基板的主面上；

第2工序，其通过第1气相生长法，在所述基板的所述主面和所述微细构造部上形成第1导电体层；以及

第3工序，其通过第2气相生长法，在所述第1导电体层上形成用于表面增强拉曼散射的第2导电体层，

所述第2气相生长法的各向异性高于所述第1气相生长法的各向异性，

所述多个间隙的宽小于形成在相邻的一对所述凸部中的一个所述凸部的外面的所述第2导电体层与形成在另一个所述凸部的所述第2导电体层之间的距离。