[发明专利]一种三明治型纳米结构的分析方法在审
| 申请号： | 201710277057.X | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN106896125A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘金养;黄青青;徐杨阳;黄志高;赖发 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三明治型纳米结构的分析方法，其包括以下步骤1）将三明治型纳米结构放置于硅片上，作为观察样品；2）将观察样品置于载物台上；3）调节扫描电子显微镜并分析观察样品的形貌与结构；具体为3‑1）设置加速电压为低加速电压，观测并获取低加速电压时三明治型纳米结构的上层和中层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑2）设置加速电压为高加速电压，观测并获取高加速电压时三明治型纳米结构上层、中层和下层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑3）通过对比和分析高、低加速电压的扫描电子显微镜照片，分析三明治型纳米结构上层材料和下层材料的形貌与结构。本发明通过调控电子束的加速电压来调控二次电子的逃逸深度，观察并确定纳米材料不同空间层次材料的形貌与结构，操作简单可行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 纳米 结构 分析 方法 | ||
【主权项】：
一种三明治型纳米结构的分析方法，其特征在于：其包括以下步骤：1）将三明治型纳米结构放置于硅片上，作为观察样品；2）将观察样品置于载物台上；3）调节扫描电子显微镜并分析观察样品的形貌与结构；所述步骤3的具体分析方法包括以下步骤：3‑1）设置加速电压为低加速电压，通过扫描电子显微镜，观测并获取低加速电压时三明治型纳米结构的上层和中层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑2）设置加速电压为高加速电压，通过扫描电子显微镜，观测并获取高加速电压时三明治型纳米结构上层、中层和下层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑3）通过对比和分析高、低加速电压的扫描电镜照片，分析三明治型纳米结构上层材料和下层材料的形貌与结构。
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