[发明专利]一种三明治型纳米结构的分析方法

权利要求书

1.一种三明治型纳米结构的分析方法，其特征在于：其包括以下步骤：

1）将三明治型纳米结构放置于硅片上，作为观察样品；

2）将观察样品置于载物台上；

3）调节扫描电子显微镜并分析观察样品的形貌与结构；

所述步骤3的具体分析方法包括以下步骤：

3-1）设置加速电压为低加速电压，通过扫描电子显微镜，观测并获取低加速电压时三明治型纳米结构的上层和中层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；

3-2）设置加速电压为高加速电压，通过扫描电子显微镜，观测并获取高加速电压时三明治型纳米结构上层、中层和下层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；

3-3）通过对比和分析高、低加速电压的扫描电镜照片，分析三明治型纳米结构上层材料和下层材料的形貌与结构。

2.根据权利要求1所述的一种三明治型纳米结构的分析方法，其特征在于：所述三明治型纳米结构为硒化锡-石墨烯-硒化锡三明治型纳米结构。

3.根据权利要求1所述的一种三明治型纳米结构的分析方法，其特征在于：所述步骤3-1中加速电压的低加速电压为1KV。

4.根据权利要求1所述的一种三明治型纳米结构的分析方法，其特征在于：所述步骤3-2中加速电压的高加速电压为5KV。