[发明专利]加热型离子注入机安全互锁装置

摘要

本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。

主权项

1.一种加热型离子注入机安全互锁装置，其特征在于，包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与所述加热灯连接，用于控制所述加热灯的开关状态；所述电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，所述电流互感器的二次侧与所述控制器连接；所述电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。