[发明专利]加热型离子注入机安全互锁装置

说明书

本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种加热型离子注入机安全互锁装置。

背景技术

加热型离子注入机在正常工艺过程中会有偶发性的靶盘通讯故障。所述靶盘通讯故障的具体表现为：靶盘实际已停止转动，但是在控制系统上靶盘仍然显示正常转动，加热灯正常工作，束流继续注入硅片。在发生所述靶盘通讯故障后，停止转动的靶盘上的硅片会被离子束(50mA@200kev)继续轰击后融化，继而离子束会轰击到硅片固定器，造成其损坏。同时，在加热灯区域的硅片会因为加热灯的持续加热而发生形变。在现有技术中，为了解决这种故障，只能打开所述离子注入机的工艺腔体进行处理，会造成较长时间的停机及硬件损坏。因此，如何防止发生靶盘通讯故障，防止所述离子注入机的硬件损坏，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种加热型离子注入机安全互锁装置，用以防止靶盘通讯故障的发生，保护离子注入机的硬件安全。

为了解决上述问题，本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与所述加热灯连接，用于控制所述加热灯的开关状态；所述电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，所述电流互感器的二次侧与所述控制器连接；所述电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。

优选的，所述控制器为一开关组件；所述开关组件串联在加热灯与加热灯电源之间。

优选的，所述开关组件串联至所述加热灯电源的供电接触器的线包电路上。

优选的，所述开关组件为一电容器，所述电容器的两端分别连接所述电流互感器二次侧的两输出端。

优选的，所述阈值电流低于靶盘马达的工作电流。

优选的，所述阈值电流为4A。

本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。

附图说明

附图1是本发明具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的结构示意图；

附图2是本发明具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的电路结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置的具体实施方式做详细说明。

本具体实施方式提供了加热型离子注入机安全互锁装置，附图1是本发明具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的结构示意图，附图2是本发明具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的电路结构图。