[发明专利]一种调平装置和等离子体设备

摘要

本发明提供一种调平装置和等离子体设备，属于半导体加工技术领域，其可解决现有的托盘调平装置调平效果较差的问题。本发明的调平装置，用于调节托盘的水平度，调平装置包括：支撑体、第一本体、第二本体和调平球，第一本体和第二本体沿不同方向交叉设置，第一本体上设置有第一凹槽，第二本体上设置有第二凹槽；第一凹槽与第二凹槽相对设置，以形成一空间，调平球放置在空间内；支撑体的一端穿过第一凹槽并贯穿所述调平球，支撑体的另一端与托盘固定连接；第一本体和第二本体可沿其设置方向移动，以带动调平球转动，来调节支撑体的垂直度。

主权项

1.一种调平装置，用于调节托盘的水平度，其特征在于，所述调平装置包括：支撑体、第一本体、第二本体和调平球，所述第一本体和所述第二本体沿不同方向交叉设置，所述第一本体上设置有第一凹槽，所述第二本体上设置有第二凹槽；所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，以形成一空间，所述调平球放置在所述空间内；所述支撑体的一端贯穿所述第一本体并位于所述调平球中，所述支撑体的另一端与所述托盘固定连接；所述第一本体和所述第二本体可沿其设置方向移动，以带动所述调平球转动，来调节所述支撑体的垂直度。