[发明专利]一种PFG Emission Current检测电路在审
| 申请号： | 201710273839.6 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108732406A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王浩 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PFG Emission Current检测电路，属于半导体制造领域。PFG Emission Current检测电路包括：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元(3)放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。 | ||
| 搜索关键词： | 电压信号 检测电路 放大 放大器 电路供电单元 信号处理单元 信号转换单元 运算放大器 正向 半导体制造领域 信号进行处理 直流电 电压跟随器 仪表放大器 供电 电流信号 控制器 输出 转化 检测 | ||
【主权项】：
1.一种PFG Emission Current检测电路，主要包括：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元(3)放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。
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