[发明专利]一种PFG Emission Current检测电路

说明书

本发明公开了一种PFG Emission Current检测电路，属于半导体制造领域。PFG Emission Current检测电路包括：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元(3)放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。

技术领域

本发明涉及离子注入机PFG Emission Current的检测，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。

背景技术

离子注入机中PFG位于靶限束光栏之后及靶台之前。PFG实际上是一个直接加热式离子源，只不过没有引出电压，PFG里的等离子体中的电子是通过光路中带正电荷的离子束的吸引，并随离子束一起飞向晶片中和掉晶片上的正电荷，使晶片更容易接受需要注入的正离子。

本发明提供了一种PFG Emission Current检测电路，该电路可以实现对PFG中电子被离子束吸引所产生的电子流的采集及处理，并送到控制器，由控制器计算出反馈值，从而达到测量进入晶片的电子量。该电路实现方便，集成度高，稳定性很高，实践表明该电路对PFG Emission Current的检测效果良好。

发明内容

本发明涉及一种PFG Emission Current检测电路。该发明应用于离子注入机，该电路适用于注入过程中对PFG Emission Current的检测。

本发明通过以下技术方案实现：

PFG Emission Current检测电路基本框图如图1所示，它包括三个主要功能单元：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)和信号处理单元(3)。各功能单元的实现电路及作用如下：

电路供电单元(1)：电源模块为24V直流输入转化为两路15V直流输出，由于所选芯片供电要求为±15V直流，因此将其中一路输出的正端与另一路输出的负端短接并接入大地，以此来达到输出为±15V直流的目的。电源的输入端和输出端都加入一发光二极管及其保护电阻，使供电单元的状态显示一目了然；同时电源的输入端和输出端也都加入LC滤波电路，由此达到隔离电源噪声的作用，使得电源模块的干扰减小，并使电路更加稳定。

信号转换单元(2)：该单元是将BNC连接器检测到的电流信号经一10欧姆的功率电阻转化为方便处理的电压信号。

信号处理单元(3)：该单元将转化成的电压信号经仪表放大器及运算放大器将转化的信号放大数倍，然后将信号输出至控制器，由控制器计算并于工控机显示出来。

将三个单元模块串联后得到总的实现电路如图2所示。

本发明具有如下显著优点：

1、结构简单、可靠性好：仅由三个集成芯片实现PFG Emission Current检测，提高了电路的抗干扰能力，方便了电路的实现。

2、响应及时：该方案全部由硬件电路实现，响应延时极小。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1是PFG Emission Current检测电路结构框图。

图2是PFG Emission Current检测电路。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的限定。