[发明专利]一种PFG Emission Current检测电路在审
申请号: | 201710273839.6 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN108732406A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 王浩 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电压信号 检测电路 放大 放大器 电路供电单元 信号处理单元 信号转换单元 运算放大器 正向 半导体制造领域 信号进行处理 直流电 电压跟随器 仪表放大器 供电 电流信号 控制器 输出 转化 检测 | ||
1.一种PFG Emission Current检测电路,主要包括:电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电,需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电;由PFG检测到的信号为电流信号,需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号,再由放大器对信号进行处理;信号需要由信号处理单元(3)放大,仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍,再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。
2.如权利要求1所述的一种PFG Emission Current检测电路,其特征在于,PFGEmission Current的检测是电流信号,需将其转换为电压信号在对其进行处理,转换过程是使用一10欧姆功率电阻转化。
3.如权利要求1所述的一种PFG Emission Current检测电路,其特征在于,该电路经仪表放大器放大之后可由运算放大器再放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出,此选项只需改变跳线方式即可实现。
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