[发明专利]等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201710272198.2 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108732234B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 赵向阳 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上。
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