[发明专利]等离子体发生装置

说明书

本发明提供了一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上。

技术领域

本发明涉及元素分析技术领域，特别涉及一种等离子体发生装置。

背景技术

电感耦合等离子体质谱技术(ICP-MS)是最强有力的元素分析技术，尤其是检测微量和痕量元素。电感耦合等离子体质谱仪器主要由：进样系统、接口与离子透镜、质量分析器、检测器、矩管及电离发生装置等构成。

如图1～2所示，在矩管及电离发生装置1中，射频线圈11产生电磁场，通过高频装置使辅助气体管13中输出的氩气电离，氩离子和电子在电磁场作用下与其他氩原子碰撞产生更多的氩离子和电子，强大的电流产生高温，使氩气形成温度达10000K的等离子体焰炬12，样品由载气氩气带入等离子体焰炬12发生蒸发，分解，激发和电离。现有的炬管及电离发生装置1中会有样品或氩气的溶液残留，会使等离子体焰炬12熄灭造成测试中止，或根本无法将焰矩点燃。矩管及电离发生装置1中还包括雾化装置14和排液管18，对样品进行雾化以及排放样品雾化不完全形成的溶液。

因此，需要设计一种防止焰矩熄灭的等离子体发生装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种等离子体发生装置，以解决现有的炬管及电离发生装置焰矩熄灭的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：

所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；

所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；

所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述第三管体包括内侧壁和外侧壁，其中：

所述内侧壁位于所述外侧壁中，所述内侧壁和所述外侧壁形成中空结构；

所述内侧壁包括第二端部，所述第二端部靠近所述第三管体的末端，所述内侧壁具有一个或多个第二类孔，所述第二类孔位于所述第二端部上；

所述外侧壁具有一个或多个第三类孔。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述第二端部向所述第三管体的内部收缩。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述第一管体喷射混合气体，所述混合气体包括承载气体和样品。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述承载气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述第二管体喷射辅助气体。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述辅助气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述第三管体喷射冷却气体。

可选的，在所述的等离子体发生装置中，所述冷却气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。