[发明专利]一种基于非均匀分布界面陷阱的NBTI退化模型获取方法有效

专利信息
申请号: 201710266163.8 申请日: 2017-04-21
公开(公告)号: CN107220477B 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 李小进;孙俊雅;孙亚宾;石艳玲;胡少坚;郭奥;田明;廖端泉;王昌锋 申请(专利权)人: 华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20
代理公司: 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 代理人: 董红曼;马旸
地址: 200062 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于非均匀分布界面陷阱的NBTI退化模型获取方法,方法包括:步骤一:划分MOS器件不同区域内的界面陷阱分布,得到界面陷阱的总分布框架;步骤二:根据几何结构分别计算每个区域内的界面陷阱分布密度,得到非均匀分布的界面陷阱总密度;步骤三:根据ΔNIT总密度得到NBTI引起的阈值电压偏移,获得基于几何结构分析的NBTI退化模型。本发明提出的模型纳入了NBTI效应产生的界面陷阱的实际分布情况,从而能精准地计算MOS器件中产生的界面陷阱电荷总密度,进而得到阈值电压的退化模型,所需拟合参数少,适用性广泛,该模型对于器件可靠性提供了更准确的预测。
搜索关键词: 一种 基于 均匀分布 界面 陷阱 nbti 退化 模型 获取 方法
【主权项】:
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