[发明专利]一种SICM的探针样品距离控制方法及系统有效
| 申请号： | 201710259175.8 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108732387B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;滕泽宇;于鹏;杨洋;杨铁;赵亮;李广勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/44 | 分类号： | G01Q60/44;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种SICM的探针样品距离控制方法及系统。方法包括：扫描前建立下降沿补偿函数模型；成像过程中记录上一像素行扫描高度，作为当前待扫描行的预测值；将探针实时位置与预测高度的差值作为参数输入到下降沿补偿函数模型，得到下降沿补偿系数；进行上升沿下降沿判断，更新得到新的电流偏差；将新的电流偏差反馈给控制器，控制压电陶瓷上下运动，使探针始终与样品保持恒距。系统包括：逼近曲线模块、下降沿补偿函数模型建立模块、行预测模块、反馈控制模块。本发明解决了逼近曲线非线性所带来的样品上升下降沿偏差不同的问题，因而可以消除SICM成像的下降沿模糊现象，与使用传统PID控制相比成像更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sicm 探针 样品 距离 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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