[发明专利]一种硅溶胶抛光液的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710253914.2 申请日: 2017-04-18
公开(公告)号: CN106978088B 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 胡浩 申请(专利权)人: 海安县中丽化工材料有限公司
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 高之波;倪金磊
地址: 226600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种硅溶胶抛光液的制备方法,包括以下步骤:S1、将粒径为100‑120nm、固含量为43%‑45%的硅溶胶和粒径为20‑30nm、固含量为43%‑45%的硅溶胶按照摩尔比7:3混合;S2、在混合后的硅溶胶溶液中以10‑20KG/h的速度加入0.3‑0.5%的KCl或NaCl溶液,同时使用搅拌棒进行搅拌,搅拌速度为60‑80r/min,加完后静置1‑2h;S3、以10‑20kg/h的速度加入浓度为10%的KOH或NaOH溶液,直到混合溶液的pH调节至10.0‑10.5。该方法制备得到的硅溶胶抛光液对蓝宝石石抛光具有抛光速率高、抛光表面质量好的优点。
搜索关键词: 一种 硅溶胶 抛光 制备 方法
【主权项】:
1.一种硅溶胶抛光液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、将粒径为100‑120nm、固含量为43%‑45%的硅溶胶和粒径为20‑30nm、固含量为43%‑45%的硅溶胶按照摩尔比7:3混合;S2、在混合后的硅溶胶溶液中以10‑20kg/h的速度加入0.3‑0.5%的KCl或NaCl溶液,同时使用搅拌棒进行搅拌,搅拌速度为60‑80r/min,加完后静置1‑2h;S3、以10‑20kg/h的速度加入浓度为10%的KOH或NaOH溶液,直到混合溶液的pH调节至10.0‑10.5;其中,粒径为20‑30nm的硅溶胶的制备方法包括以下步骤:α1、将质量百分含量为10%的硅酸钠溶液,经过阳离子交换树脂,得到活性硅酸;α2、将质量百分含量为10%的活性硅酸加入反应罐,在反应罐中加入碱溶液调节pH值为9‑11,通过水蒸气加热,加热温度控制在100‑120℃,加热时间为10‑20h,得到固含量为43%‑45%,粒径为20‑30nm的硅溶胶溶液;其中,粒径为100‑120nm的硅溶胶的制备方法包括以下步骤:α3、将质量百分含量为10%的步骤α2制备的20‑30nm的硅溶胶溶液加入反应罐,在反应罐中加入碱溶液调节pH值为9‑11,通过水蒸气加热,加热温度控制在100‑120℃,加热时间为60‑65h,得到固含量为43%‑45%,粒径为100‑120nm的硅溶胶溶液。
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