[发明专利]喷嘴和工件研磨装置有效
| 申请号： | 201710252809.7 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN107303653B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 澁谷和孝;中村由夫 | 申请（专利权）人： | 不二越机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24C5/04 | 分类号： | B24C5/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷嘴和工件研磨装置，能够减少液体中所含的活性化气体的灭活量，并且能够减少活性化气体生成时的电力损失。喷嘴(1)具备：液体流路(12)，其使液体流通；气体流路(14)，其使气体流通，并且与液体流路连通而使该气体送出到该液体流路内；和等离子体产生机构(20)，其在从气体流路送出到液体流路内的所述气体的内部产生等离子体，等离子体产生机构具有：第一电极(22)，其露出地配设在液体流路内；第二电极(24)，其不露出于液体流路内，并且露出地配设在气体流路内；和电源(26)，其向第一电极与第二电极之间施加规定电压，在使产生了等离子体的所述气体以规定直径的气泡混入到液体中的状态下使该液体排出。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 工件 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种喷嘴，其特征在于，该喷嘴具备：液体流路，其使液体流通；气体流路，其使气体流通，并且与所述液体流路连通而使该气体送出到该液体流路内；和等离子体产生机构，其在从所述气体流路送出到所述液体流路内的所述气体的内部产生等离子体，所述等离子体产生机构具有：第一电极，其露出地配设在所述液体流路内；第二电极，其不露出于所述液体流路内，并且露出地配设在所述气体流路内；和电源，其向所述第一电极与所述第二电极之间施加规定电压，在使产生了所述等离子体的所述气体作为规定直径的气泡混入到所述液体中的状态下使该液体排出。
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