[发明专利]一种多晶硅还原尾气的处理装置有效
| 申请号： | 201710240227.7 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108726481B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈世涛;王文 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50;C01B33/107;C01B33/035;B01D50/00;B01D53/00;B01D53/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅还原尾气的处理装置，包括：洗涤塔，用于对还原尾气进行淋洗处理，并从塔釜输出含硅粉氯硅烷液体，从塔顶输出不凝气；循环泵保护单元，用于去除含硅粉氯硅烷液体中的硅粉和杂质后输出氯硅烷液体；洗涤塔循环泵，用于将氯硅烷液体增压后送回洗涤塔内部参与淋洗工作；除尘单元，用于去除不凝气中的硅粉，得到除尘后的不凝气；多级冷却单元，用于使除尘后的不凝气依次经过多级冷却处理，将其中的氯硅烷全部冷凝下来并送往氯硅烷冷凝液收集罐，同时输出含有杂质氢气；多级活性炭吸附单元，用于使多级冷却单元输出的含有杂质氢气依次经过多级吸附处理，得到纯净的氢气并送往氢气缓冲罐。本发明能够有效去除还原尾气中的硅粉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原尾气的处理装置，所述还原尾气包括氢气、氯硅烷和少量硅粉的混合气，其特征在于，所述处理装置包括：洗涤塔，用于利用塔内自上而下的氯硅烷淋洗液对所述还原尾气进行淋洗处理，并从塔釜输出含硅粉氯硅烷液体，从塔顶输出不凝气，所述不凝气包括氢气、未被吸收的氯硅烷和硅粉的混合气；循环泵保护单元，用于去除洗涤塔塔釜输出的含硅粉氯硅烷液体中的硅粉和杂质后输出氯硅烷液体；洗涤塔循环泵，用于将循环泵保护单元输出的氯硅烷液体增压后经洗涤塔上部的一级喷淋口送入洗涤塔内部参与淋洗工作；除尘单元，用于去除洗涤塔塔顶输出的不凝气中的硅粉，得到除尘后的不凝气；多级冷却单元，用于使除尘后的不凝气依次经过多级冷却处理，将除尘后的不凝气中的氯硅烷全部冷凝下来并送往氯硅烷冷凝液收集罐，同时输出含有杂质氢气；多级活性炭吸附单元，用于使多级冷却单元输出的含有杂质氢气依次经过多级吸附处理，得到纯净的氢气并送往氢气缓冲罐。
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