[发明专利]用于梳状驱动MEMS装置的系统和方法有效
| 申请号： | 201710239819.7 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107285273B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | S.比泽尔特;A.德赫;H.弗勒利希;T.考奇;M.纳瓦茨;A.希雷 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技德累斯顿有限责任公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄涛;杜荔南 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据实施例，形成MEMS换能器的方法包括在单晶硅层中形成换能器框架，其中形成换能器框架包括邻近腔形成支撑部分并且形成从支撑部分延伸的第一梳齿集合。形成MEMS换能器的方法进一步包括形成从锚定装置到支撑部分的弹性支撑以及在单晶硅层中形成第二梳齿集合。第二梳齿集合与第一梳齿集合交错对插。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 驱动 mems 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种形成微机电系统（MEMS）换能器的方法，所述方法包括：在单晶硅层中形成换能器框架，其中形成换能器框架包括：邻近腔形成支撑部分，以及形成从所述支撑部分延伸的第一梳齿集合；形成从锚定装置到所述支撑部分的弹性支撑；以及在所述单晶硅层中形成第二梳齿集合，所述第二梳齿集合与所述第一梳齿集合交错对插。
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