[发明专利]上电极装置在审
| 申请号： | 201710236523.X | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN107546092A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周峙丞 | 申请（专利权）人： | 周业投资股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司11355 | 代理人： | 张雅军,史瞳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种上电极装置，包含一个电极板，以及穿设在该电极板中的数个陶瓷管及数个陶瓷块。该电极板包括一个电极本体。该电极本体界定出彼此间隔的数个第一贯孔与数个第二贯孔。所述陶瓷管呈管状，并设置在所述第一贯孔中。所述陶瓷块设置在所述第二贯孔中，并封闭所述第二贯孔。所述陶瓷块封闭了所述第二贯孔，使得该电极本体能供蚀刻气体流动的孔洞数目变少，在相同的气体流量下，因流经所述第一贯孔的蚀刻气体的流速加快，冲击待蚀刻物的力道加强，而使本发明具有较佳的蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 装置 | ||
【主权项】：
一种上电极装置，包含一个电极板，以及数个设置在该电极板的陶瓷管，该电极板包括一个界定出彼此间隔的数个第一贯孔与数个第二贯孔的电极本体，所述陶瓷管呈管状并设置在所述第一贯孔中，其特征在于：该上电极装置还包含数个设置在所述第二贯孔中并分别封闭所述第二贯孔的陶瓷块。
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