[发明专利]一种用于封接铝碳化硅的低温玻璃烧结工艺在审

专利信息
申请号: 201710225254.7 申请日: 2017-04-07
公开(公告)号: CN106960706A 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 刘波波;张伟;杨晓青 申请(专利权)人: 西安明科微电子材料有限公司
主分类号: H01B19/00 分类号: H01B19/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司61200 代理人: 徐文权
地址: 710100 陕西省西安*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种用于封接铝碳化硅的低温玻璃烧结工艺,先铸造铝碳化硅管壳,机加至规定要求;采用超声波在管壳底部打孔,然后配制造粒粉,采用干压全自动或半自动干压机压制玻璃管;将玻璃管填入管壳孔径内,放入烘烤箱中排胶排蜡;再将管壳放入到烧结炉中,先通氩气排除掉烧结炉中的空气后,然后在氩气保护下烧结绝缘子;待烧结完成后,取出管壳。本发明采用铝碳化硅复合材料,中间以玻璃为填充材料封接绝缘子,实现管壳的低热膨胀系数,玻璃封接绝缘子的温度小于500℃,要低于铝合金的软化温度,不会导致材料发生不可知的变化而影响产品性能。解决铝碳化硅直接烧结绝缘子的问题,提高产品可靠性,减少工序,降低成本。
搜索关键词: 一种 用于 封接铝 碳化硅 低温 玻璃 烧结 工艺
【主权项】:
一种用于封接铝碳化硅的低温玻璃烧结工艺,其特征在于,包括以下步骤:S1、铸造铝碳化硅管壳,然后机加至规定要求;S2、采用超声波在管壳底部打孔,孔径为0.5~2.5mm;S3、配制40~180目的造粒粉,采用干压全自动或半自动干压机压制玻璃管;S4、将步骤S3压制好的玻璃管填入到步骤S2制备的管壳孔径内,放入烘烤箱中排胶排蜡;S5、将步骤S4烘烤好的管壳放入到烧结炉中,先通氩气排除掉烧结炉中的空气后,然后在氩气保护下烧结绝缘子;S6、待步骤S5烧结完成后,取出管壳。
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