[发明专利]用于帧转移可见光CCD的输出放大器及制作方法

摘要

本发明公开了一种用于帧转移可见光CCD的输出放大器，所述输出放大器由衬底层、两个源漏区、三个栅介质、源漏多晶硅电极、三个磷硅玻璃层、阻挡层、金属铝层和地组成；本发明还公开了前述输出放大器的制作方法；本发明的有益技术效果是：提出了一种用于帧转移可见光CCD的输出放大器及制作方法，该方案可有效提高帧转移可见光CCD的品质。

主权项

1.一种用于帧转移可见光CCD的输出放大器，其特征在于：所述输出放大器由衬底层(1)、两个源漏区(2)、三个栅介质(3)、源漏多晶硅电极(4)、三个磷硅玻璃层(5)、阻挡层(6)、金属铝层(7)和地组成；所述源漏区(2)形成在衬底层(1)上侧的表层中，两个源漏区(2)之间间隔一定距离，位于左侧的源漏区(2)记为左源漏区，位于右侧的源漏区(2)记为右源漏区；所述栅介质(3)形成在衬底层(1)的上表面上；第一栅介质(3)位于左源漏区的左边，第一栅介质(3)的右端将左源漏区的左端覆盖；第二栅介质(3)位于左源漏区和右源漏区之间，第二栅介质(3)的左端将左源漏区的右端覆盖，第二栅介质(3)的右端将右源漏区的左端覆盖，第一栅介质(3)和第二栅介质(3)之间留有间隔；第三栅介质(3)位于右源漏区的右边，第三栅介质(3)的左端将右源漏区的右端覆盖，第二栅介质(3)和第三栅介质(3)之间留有间隔；所述源漏多晶硅电极(4)层叠在第二栅介质(3)的上表面中部；第一磷硅玻璃层(5)层叠在第一栅介质(3)的上表面上；第二磷硅玻璃层(5)层叠在第二栅介质(3)的上表面上，第二磷硅玻璃层(5)将源漏多晶硅电极(4)包裹在内；第三磷硅玻璃层(5)层叠在第三栅介质(3)的上表面上；所述阻挡层(6)将源漏区(2)、栅介质(3)和磷硅玻璃层(5)的裸露部分覆盖；所述金属铝层(7)覆盖在阻挡层(6)的外表面上；所述地形成在衬底层(1)的外围。