[发明专利]一种光掩模和利用其制造用于滤色器的柱状间隔件的方法有效
| 申请号： | 201710203549.4 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN107272326B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 徐大韩;崔东昌;朴光汉;韩尚澈;金在镇;崔银株;宋民守 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F1/56 | 分类号： | G03F1/56;G03F1/76 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 武树辰;王艳江 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光掩模以及一种用于利用该光掩模制造用于滤色器的柱状间隔件的方法，并且根据本发明的一个方面，提供了一种光掩模，该光掩模包括：具有第一透射率的中央区域；第一周边区域，其围绕所述中央区域并具有低于所述第一透射率的第二透射率；以及第二周边区域，其围绕所述第一周边区域并具有所述第一透射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光掩模 利用 制造 用于 滤色器 柱状 间隔 方法 | ||
【主权项】：
一种光掩模，包括：中央区域，所述中央区域具有第一透射率；第一周边区域，所述第一周边区域围绕所述中央区域并具有低于所述第一透射率的第二透射率；以及第二周边区域，所述第二周边区域围绕所述第一周边区域并具有所述第一透射率。
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