[发明专利]切割机双显微镜系统及其工作过程

摘要

本发明公开了一种切割机双显微镜系统，包括镜头1、镜头2、反射镜1、反射镜2、活动反射镜、反射镜电机、摄像头、工作台、编码器和工控机。本发明还提供上述切割机双显微镜系统的工作过程，包括如下步骤1)工作台上有待加工的芯片，镜头2先做粗识别，这时活动反射镜在右45度位置，图像通过镜头2、反射镜2、活动反射镜进入摄像头，工控机再根据得到的图像进行处理移动平台；2)粗识别完成后，系统要进行精对准，活动反射镜旋转到左45度位置，这时图像通过镜头1、反射镜1、活动反射镜进入摄像头，工控机通过得到的图像进行精对准动作。本发明能通过旋转活动反射镜得到不同镜头进入摄像头的图像，系统能根据需求在不通镜头间切换，这样能在不损失精度的情况下提高系统识别的效率，从而能提高整机的效率和可靠性。

主权项

双显微镜系统，其特征在于，包括镜头1、镜头2、反射镜1、反射镜2、活动反射镜、反射镜电机、摄像头、工作台、编码器、工控机；图像经过镜头1、反射镜1或者镜头2、反射镜2进入活动反射镜，最后由摄像头输出给工控机；活动反射镜由反射镜电机带动可以自由旋转，当需要镜头1的图像时，电机带动活动反射镜旋转到左45度位置，需要镜头2的图像时，电机带动活动反射镜旋转到右45度位置；反射镜电机安装了编码器来反馈活动反射镜位置，工控机能实时读取反射镜位置；工控机通过读取平台位置来判断使用哪个镜头的图像，再控制反射镜电机旋转到相应位置后来采集摄像头图像。