[发明专利]高阻膜的镀膜装置

摘要

本发明涉及一种高阻膜的镀膜装置，该高阻膜的镀膜装置包括进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室、出片室、抽真空组件、冷阱组件、阴极组件和加热组件，抽真空组件能够对进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室和出片室抽真空，冷阱组件包括冷阱件、压缩机和制冷剂，冷阱件安装在第一缓冲室内，压缩机的入口与冷阱件的出口相连通，压缩机的出口与冷阱件的入口相连通，以使制冷剂能够在冷阱件和压缩机之间循环流动，加热组件能够对进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室和出片室进行加热。上述高阻膜的镀膜装置生产效率较高，且能够使真空泵具有较长的使用寿命。

主权项

1.一种高阻膜的镀膜装置，其特征在于，包括进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室、出片室、抽真空组件、冷阱组件、阴极组件和加热组件，所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室依次连接，所述抽真空组件能够对所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室抽真空，所述冷阱组件包括冷阱件、压缩机和制冷剂，所述冷阱件安装在所述第一缓冲室内，所述压缩机的入口与所述冷阱件的出口相连通，所述压缩机的出口与所述冷阱件的入口相连通，以使所述制冷剂能够在所述冷阱件和所述压缩机之间循环流动，所述阴极组件安装在所述溅射室内，所述加热组件能够对所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室进行加热，所述阴极组件包括阴极及多个用于安装靶材的导电载板，所述阴极固定安装在所述溅射室内，多个所述导电载板均固定在所述阴极的同一侧上，并沿竖直方向依次排列，且相邻两个所述导电载板间隔一段距离，所述加热组件为多个，所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室内均安装有所述加热组件，每个所述加热组件包括热反射板和多个平行且间隔设置的加热管，所述热反射板竖直设置，多个所述加热管固定在所述热反射板的同一侧上，以使所述热反射板远离所述加热管的一侧能够朝向待镀件，在所述第一缓冲室内，所述热反射板与所述冷阱件相对固定在所述第一缓冲室的侧壁上，以使所述待镀件能够在所述热反射板和所述冷阱件之间滑动。