[发明专利]高阻膜的镀膜装置

说明书

本发明涉及一种高阻膜的镀膜装置，该高阻膜的镀膜装置包括进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室、出片室、抽真空组件、冷阱组件、阴极组件和加热组件，抽真空组件能够对进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室和出片室抽真空，冷阱组件包括冷阱件、压缩机和制冷剂，冷阱件安装在第一缓冲室内，压缩机的入口与冷阱件的出口相连通，压缩机的出口与冷阱件的入口相连通，以使制冷剂能够在冷阱件和压缩机之间循环流动，加热组件能够对进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室和出片室进行加热。上述高阻膜的镀膜装置生产效率较高，且能够使真空泵具有较长的使用寿命。

技术领域

本发明涉及一种高阻膜的镀膜装置。

背景技术

磁控溅射镀膜是目前常用的一种镀膜方法，然而磁控溅射镀膜通常都是在真空状态下进行的，且一般都是直接对镀膜腔室进行抽真空，不仅抽真空时间长，效率低，直接影响生产效率，而且还容易损坏真空泵，影响其使用寿命。

发明内容

基于此，有必要提供一种生产效率较高且能够使真空泵具有较长的使用寿命的高阻膜的镀膜装置。

一种高阻膜的镀膜装置，包括进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室、出片室、抽真空组件、冷阱组件、阴极组件和加热组件，所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室依次连接，所述抽真空组件能够对所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室抽真空，所述冷阱组件包括冷阱件、压缩机和制冷剂，所述冷阱件安装在所述第一缓冲室内，所述压缩机的入口与所述冷阱件的出口相连通，所述压缩机的出口与所述冷阱件的入口相连通，以使所述制冷剂能够在所述冷阱件和所述压缩机之间循环流动，所述阴极组件安装在所述溅射室内，所述加热组件能够对所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室进行加热。

由于待镀件在外界会附着大量的水和/或油，在待镀件进入高阻膜的镀膜装置时，会同时将其上面附着的水和油带入高阻膜的镀膜装置中，而这些水和油在加热状态下会变成水蒸汽和油蒸汽，不仅会污染高阻膜的镀膜装置，而且在抽真空时这些水蒸汽和油蒸汽还容易发生反流，影响抽真空组件的抽真空效率，同时，过多的水蒸汽和/或油蒸汽还会损坏真空泵，而影响真空泵的使用寿命，而上述高阻膜的镀膜装置通过在第一缓冲室设置冷阱件，冷阱件能够捕集第一缓冲室内的水蒸汽和油蒸汽，并将其冷凝成液态，以降低其活性，不仅能够水蒸汽和油蒸汽对真空泵造成的损坏，而且还能够大大提高抽真组件的工作效率，缩短抽真空的时间，提高生产效率，使得上述高阻膜的镀膜装置的每个腔室的抽真空时间只需25秒～35秒，与传统的磁控溅射高阻膜的镀膜装置相比，生产效率提高2倍；且由于高阻膜的镀膜装置中的水蒸气和油蒸汽主要来源于外界和/或镀膜件上附着的水和/或油，将冷阱件安装在第一缓冲室内，能够确保水和/油尽可能地被汽化，以使其能够尽可能快且更加完全地附着在冷阱件上，提高抽真空效率，进一步地提高了生产效率和防止水蒸汽和油蒸汽对真空泵造成的损坏。

在其中一个实施例中，所述制冷剂为液氮。

在其中一个实施例中，所述冷阱件为一金属管以一端为固定点开始向外逐圈旋绕而形成的螺旋结构，所述冷阱件的两端分别为所述冷阱件的出口和入口。

在其中一个实施例中，所述加热组件为多个，所述进片室、所述第一缓冲室、所述第一过渡室、所述溅射室、所述第二过渡室、所述第二缓冲室和所述出片室内均安装有所述加热组件，每个所述加热组件包括热反射板和多个平行且间隔设置的加热管，所述热反射板竖直设置，多个所述加热管固定在所述热反射板的同一侧上，以使所述热反射板远离所述加热管的一侧能够朝向待镀件。

在其中一个实施例中，在所述第一缓冲室内，所述热反射板与所述冷阱件相对固定在所述第一缓冲室的侧壁上，以使所述待镀件能够在所述热反射板和所述冷阱件之间滑动。