[发明专利]压力传感器及其制造方法、高度计、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201710174512.3 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107238370A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 岛田浩行 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C5/06 | 分类号： | G01C5/06;G01L7/08 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,格日乐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优良的压力检测灵敏度的压力传感器、该压力传感器的制造方法、具备该压力传感器的可靠性较高的高度计、电子设备以及移动体。该压力传感器的特征在于，具有隔膜，其通过受压而发生挠曲变形；覆盖层，其被配置在所述隔膜的一面侧且由单一层构成，所述覆盖层包含硅、氮以及氧。此外，所述覆盖层包含氮氧化硅。此外，所述覆盖层在厚度方向上具有所述氮的浓度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制造 方法 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，具有：隔膜，其通过受压而发生挠曲变形；覆盖层，其被配置在所述隔膜的一面侧且由单一层构成，所述覆盖层包含硅、氮以及氧。
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