[发明专利]一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器

摘要

本发明公开了一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，涉及光电子技术领域。本发明电光可调滤波器由下至上依次层叠有衬底、叉指式亚波长光栅，透明导电层和电极，其中：衬底表面裸露部分设置有与透明导电层齐平的电光材料层，两电极与外部电路相连以使得光栅脊之间形成电场，并且叉指状亚波长光栅材料的折射率远大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。本发明结构设计合理，既能够通过合理选取光栅参数获得高品质因子谐振和可调滤波光谱范围，又能够通过电压调制对滤波波长进行调谐，进而基于电场作用对电光材料的折射率进行调控，相比于机械式可调滤波器，大大提高了调谐的精度以及调谐速度。本发明结构简单、材料易得，有利于大规模的生产和应用。

主权项

一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，包括：衬底(1)、衬底(1)表面设置有叉指状亚波长光栅(2)，所述叉指状亚波长光栅(2)表面设置有透明导电层(5)，衬底(1)未覆盖叉指状亚波长光栅部分的表面设置有电光材料层(4)；所述透明导电层(5)表面设置有与叉指状亚波长光栅(2)的两个叉指分别电气相通的电极(3)；其中：所述两电极(3)与外部电路相连以使得叉指状亚波长光栅(2)中光栅脊之间形成电场，电光材料层(4)的厚度与叉指状亚波长光栅(2)和透明导电层(5)两者的厚度和相当，并且叉指状亚波长光栅材料的折射率大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。