[发明专利]一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器

权利要求书

1.一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，包括：衬底(1)、衬底(1)表面设置有叉指状亚波长光栅(2)，所述叉指状亚波长光栅(2)表面设置有透明导电层(5)，衬底(1)未覆盖叉指状亚波长光栅部分的表面设置有电光材料层(4)；所述透明导电层(5)表面设置有与叉指状亚波长光栅(2)的两个叉指分别电气相通的电极(3)；其中：所述两电极(3)与外部电路相连以使得叉指状亚波长光栅(2)中光栅脊之间形成电场，电光材料层(4)的厚度与叉指状亚波长光栅(2)和透明导电层(5)两者的厚度和相当，并且叉指状亚波长光栅材料的折射率大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。

2.根据权利要求1所述一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，光栅的材料为硅。

3.根据权利要求1所述一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，所述衬底的材料为二氧化硅。

4.根据权利要求1所述一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，所述透明导电层的材料为透明导电膜玻璃。

5.根据权利要求1所述一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器，其特征在于，所述叉指状亚波长光栅(2)的光栅脊等距平行排列。