[发明专利]复合带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201710160447.9 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107204269A | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 大西毅;荷田昌克 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 闫小龙,陈岚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及复合带电粒子束装置。提供一种同时具备聚焦离子束镜筒和电子束镜筒的复合带电粒子束装置，所述复合带电粒子束装置能够防止电子束镜筒的污损并且高精度地照射电子束。具备样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束；电子束镜筒，向所述样品照射电子束；样品室，收容所述样品台、所述聚焦离子束镜筒和电子束镜筒；防污板，以能在插入到所述电子束镜筒的出射面与所述样品台之间的插入位置和从所述出射面与所述样品台之间退出后的敞开位置之间移位的方式形成；以及操作单元，使所述防污板在所述插入位置和所述敞开位置之间移位。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
一种复合带电粒子束装置，其特征在于，具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束；电子束镜筒，向所述样品照射电子束；样品室，收容所述样品台、所述聚焦离子束镜筒和电子束镜筒；防污板，以能在插入到所述电子束镜筒的出射面与所述样品台之间的插入位置和从所述出射面与所述样品台之间退出后的敞开位置之间移位的方式形成；以及操作单元，使所述防污板在所述插入位置和所述敞开位置之间移位。
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