[发明专利]磁传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201710154124.9 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN107192406A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 飞冈孝明;海老原美香;高桥宽;岸松雄;高浜未英 | 申请（专利权）人： | 精工半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/14 | 分类号： | G01D5/14;G01R33/07;G01R3/00;H01L43/04;H01L43/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 叶培勇,付曼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供磁传感器及其制造方法。磁传感器具备在表面具备霍尔元件的半导体衬底；设在半导体衬底的背面上的粘接层；以及设在粘接层上的磁会聚板。磁会聚板通过电解镀形成在与半导体衬底另行准备的镀敷用衬底上形成的基底导电层上，将成为上述粘接层的粘接剂涂敷在磁会聚板表面而粘接在半导体衬底背面，然后从磁会聚板上的基底导电层剥离镀敷用衬底而形成在半导体衬底的背面上。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁传感器，其中具备：在表面具备霍尔元件的半导体衬底；设在所述半导体衬底的背面上的粘接层；以及设在所述粘接层上的磁会聚板。
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