[发明专利]非接触式厚度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201710149795.6 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN106767464A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 谢瑞清;赵世杰;陈贤华;廖德锋;田亮;钟波;周炼;徐曦;袁志刚;邓文辉;金会良;王健 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学元件的非接触式厚度测量装置，包括底座、滑动导轨、支撑架、齿条、齿轮、第一激光位移传感器、载物台、第二激光位移传感器、滑台和控制器，所述滑动导轨固定在底座上，所述滑台设置在滑动导轨上；所述支撑架固定在底座上，所述齿条设置在支撑架上，所述齿条上安装有第一激光位移传感器，所述齿轮与齿条配合；所述载物台固定在滑台上，所述第二激光位移传感器固定在底座上，所述第二激光位移传感器与第一激光位移传感器的测量点在同一竖直线上，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器分别与控制器相连接。本发明测量的分辨率为0.1μm，测量误差为0.01％，可对大口径光学元件及其它材料元件的厚度进行精密测量。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 厚度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
非接触式厚度测量装置，其特征在于：包括底座(1)、滑动导轨(2)、支撑架(3)、齿条(4)、齿轮(5)、第一激光位移传感器(6)、载物台(8)、第二激光位移传感器(10)、滑台(11)和控制器，所述滑动导轨(2)固定在底座(1)上，所述滑台(11)设置在滑动导轨(2)上，并可沿着滑动导轨(2)左右移动；所述支撑架(3)固定在底座(1)上，所述齿条(4)设置在支撑架(3)上，所述齿条(4)上安装有第一激光位移传感器(6)，所述齿轮(5)与齿条(4)配合，通过旋转齿轮(5)带动齿条(4)移动，从而带动第一激光位移传感器(6)上下移动；所述载物台(8)固定在滑台(11)上，所述第二激光位移传感器(10)固定在底座(1)上，所述第二激光位移传感器(10)与第一激光位移传感器(6)的测量点在同一竖直线上，所述第一激光位移传感器(6)和第二激光位移传感器(10)分别与控制器相连接。
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