[发明专利]一种尾气回收方法

摘要

本发明公开了一种尾气回收方法是将合成尾气送入缓冲罐，缓冲罐压0.3～0.8Mpa。吸附系统由并联两台吸附塔构成，一台处于吸附状态，另一台处于再生状态，分别配备有进、出口控制阀门，吸附剂为活性炭。合成尾气进入吸附状态吸附塔内，塔内0.3～0.8MPa、温度20～80℃，大量氯硅烷被吸附剂吸附，氢气和氯化氢混合气体排出到吸附袋式过滤器，除去粉尘后进入回收气体缓冲罐，一部分被输送到氯化氢合成系统，一部分被输送到再生状态的吸附塔内，塔内温度100～200℃、压力0.01～0.15MPa，高温下被吸附的氯硅烷解析出来，使吸附剂再生，经过再生袋式过滤器中过滤，除去粉尘后由合成尾气加压冷凝系统回收。

主权项

1.一种尾气回收方法，其特征在于：该干法回收方法是将加压冷凝后的三氯氢硅合成尾气送入缓冲罐，保持缓冲罐的压力在0.3～0.8MPa；吸附系统由并联的两台吸附塔构成，其中一台吸附塔中的吸附剂处于吸附状态，另一台吸附塔中的吸附剂处于再生状态，两台吸附塔分别配备有各自的进、出口控制阀门，吸附剂均为活性炭；从缓冲罐出来的合成尾气通过吸附状态吸附塔下部设置的控制阀门进入到该吸附塔内，此时吸附塔内的压力与缓冲罐的压力保持一致同为0.3～0.8MPa，吸附塔内的温度控制在20～80℃，合成尾气在吸附塔内自下而上流动，合成尾气中的大量氯硅烷被吸附剂吸附，氢气和氯化氢的混合气体从吸附塔顶部的气体出口控制阀门排出到吸附袋式过滤器中过滤，过滤除去粉尘后进入回收气体缓冲罐，回收气体缓冲罐的压力也保持在0.3～0.8MPa。