[发明专利]一种尾气回收方法

说明书

本发明公开了一种尾气回收方法是将合成尾气送入缓冲罐，缓冲罐压0.3～0.8Mpa。吸附系统由并联两台吸附塔构成，一台处于吸附状态，另一台处于再生状态，分别配备有进、出口控制阀门，吸附剂为活性炭。合成尾气进入吸附状态吸附塔内，塔内0.3～0.8MPa、温度20～80℃，大量氯硅烷被吸附剂吸附，氢气和氯化氢混合气体排出到吸附袋式过滤器，除去粉尘后进入回收气体缓冲罐，一部分被输送到氯化氢合成系统，一部分被输送到再生状态的吸附塔内，塔内温度100～200℃、压力0.01～0.15MPa，高温下被吸附的氯硅烷解析出来，使吸附剂再生，经过再生袋式过滤器中过滤，除去粉尘后由合成尾气加压冷凝系统回收。

技术领域

本发明属于化工技术领域，特别涉及到一种尾气回收方法。

背景技术

三氯氢硅在生产中消耗大量的氯气和氢气，是氯碱企业的一种很好的平衡氯气并提高经济效益的产品，也是用于生产单晶硅、多晶硅等产品的重要原料，广泛应用于国防、国民经济及日常生活的各个领域。

三氯氢硅生产的主要方法是：

Si+3HCl＝SiHCl₃+H₂，反应温度在300℃左右，经过除尘、加压冷凝后，仍有一部分不凝气体如氢气、氯化氢或少量氯硅烷。由于不凝气体中含有氢气，既使采用-35℃冷媒深冷，但仍含有10％左右的三氯氢硅和四氯化硅。在传统或目前生产工艺中，对合成尾气采用湿法处理，不仅消耗碱液和水，而且会有新的废水和废渣产生，对环境造成污染，且导致单位产品的氯气、氢气和硅粉等物料消耗高，产品成本增加。

随着生产规模的扩大，这些问题就会更加突出，甚至成为制约企业发展壮大的技术瓶颈。目前一些采用干法回收的工艺，主要回收尾气中的氯化氢，而氢气及少量氯硅烷洗涤放空，或者把氢气和氯化氢单独回收，不仅造成原料浪费，也增加了操作难度和三氯氢硅生产成本。同时为了达到环境保护、满足国家节能减排的要求，对尾气的回收利用日益重要。

专利CN101279734A公布了一种三氯氢硅合成尾气干法回收的方法，但是该方法中的H 2被并入尾气洗涤放空，不仅造成原料浪费，也增加了三氯氢硅合成成本。

专利CN101125276用氢气膜分离器分离氢气，分离出来的氢气用作燃料或直接排入大气，造成原料浪费和增加三氯氢硅生产成本。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种尾气回收方法，该干法回收方法解决了三氯氢硅合成尾气的回收利用问题，使尾气中的氢气、氯化氢混合回收后返回氯化氢合成系统，氯硅烷气体返回三氯氢硅合成产物加压冷凝系统冷凝回收。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：