[发明专利]一种抗光衰炉

摘要

本发明公开一种抗光衰炉，包括炉支架和多个恒流源，炉支架上设有循环输送硅片的输送装置，炉支架沿所述输送装置入料端至出料端依次设有预热区、光照区和冷却区，光照区的正上方设有若干组并排设置的LED灯光照模组，每组LED灯光照模组由多个具有水冷作用的LED灯条组成，每个LED灯条均由一个恒流源独立控制。一个恒流源独立控制一个LED灯条，使LED灯条具有超高光照强度的同时，又可以控制其发热的温度，使LED灯条在一个恒定的温度下工作。硅片进入本抗光衰炉的过程中，经过多组LED灯光照模组的强光照射，硅片氢钝化效果明显。

主权项

1.一种抗光衰炉，其特征在于，包括炉支架和多个恒流源，所述炉支架上设有循环输送硅片的输送装置，所述炉支架沿所述输送装置入料端至出料端依次设有预热区、光照区和冷却区，所述光照区的正上方设有若干组并排设置的LED灯光照模组，每组所述LED灯光照模组由多个具有水冷作用的LED灯条组成，每个所述LED灯条均由一个所述恒流源独立控制；多个恒流源同时架设在一个恒流源支架上，LED灯光照模组具有若干大组，每个大组设有若干个小组LED灯光照模组，每个小组LED灯光照模组设有若干个LED灯条；所述炉支架上设有总循环水管进和总循环水管出，每组所述LED灯光照模组由四个具有水冷作用的LED灯条组成，四个LED灯条上均设有进水口和出水口，四个LED灯条的进水口和出水口依次连通，一个LED灯条的进水口连通总循环水管进，一个LED灯条的出水口连通总循环水管出；所述LED灯条包括LED灯散热水箱，该LED灯散热水箱中的LED灯的电流电压由恒流源调节控制，所述LED灯散热水箱的正面一端设有用于连接正电极座的正电极安装孔，所述LED灯散热水箱的正面另一端设有用于连接负电极座的负电极安装孔，所述正电极座连接所述恒流源的正电极，所述负电极座连接所述恒流源的负电极，所述LED灯散热水箱的正面采用液态金属焊接的方式连接有一金属电路板，所述金属电路板的表面装有测温探头，所述测温探头与所述恒流源电连接，所述LED灯散热水箱的背面设有进水口和出水口，所述金属电路板的表面间隔设有若干个LED芯片。