[发明专利]一种抗光衰炉

权利要求书

1.一种抗光衰炉，其特征在于，包括炉支架和多个恒流源，所述炉支架上设有循环输送硅片的输送装置，所述炉支架沿所述输送装置入料端至出料端依次设有预热区、光照区和冷却区，所述光照区的正上方设有若干组并排设置的LED灯光照模组，每组所述LED灯光照模组由多个具有水冷作用的LED灯条组成，每个所述LED灯条均由一个所述恒流源独立控制；

多个恒流源同时架设在一个恒流源支架上，LED灯光照模组具有若干大组，每个大组设有若干个小组LED灯光照模组，每个小组LED灯光照模组设有若干个LED灯条；

所述炉支架上设有总循环水管进和总循环水管出，每组所述LED灯光照模组由四个具有水冷作用的LED灯条组成，四个LED灯条上均设有进水口和出水口，四个LED灯条的进水口和出水口依次连通，一个LED灯条的进水口连通总循环水管进，一个LED灯条的出水口连通总循环水管出；

所述LED灯条包括LED灯散热水箱，该LED灯散热水箱中的LED灯的电流电压由恒流源调节控制，所述LED灯散热水箱的正面一端设有用于连接正电极座的正电极安装孔，所述LED灯散热水箱的正面另一端设有用于连接负电极座的负电极安装孔，所述正电极座连接所述恒流源的正电极，所述负电极座连接所述恒流源的负电极，所述LED灯散热水箱的正面采用液态金属焊接的方式连接有一金属电路板，所述金属电路板的表面装有测温探头，所述测温探头与所述恒流源电连接，所述LED灯散热水箱的背面设有进水口和出水口，所述金属电路板的表面间隔设有若干个LED芯片。

2.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述炉支架位于所述光照区的位置设有炉腔，所述炉腔的空腔内侧壁上间隔设有多个风孔，所述炉腔的下腔设有辅助加热装置，所述炉腔的正上方与所述LED灯光照模组之间采用透光的隔板隔开。

3.根据权利要求2所述的抗光衰炉，其特征在于，所述输送装置包括设置在炉支架左右两端的滚筒，其中一个所述滚筒由电机驱动，两个所述滚筒采用金属网状输送带连接，所述金属网状输送带带动硅片依次经过预热区、光照区和冷却区，硅片经过所述预热区时的预热温度在200℃～500℃，硅片经过所述光照区时，所述LED灯光照模组对硅片进行光照处理，所述炉腔的温度降低到一定程度时，所述辅助加热装置对炉腔进行辅助加热。

4.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述LED灯散热水箱的空腔内对应所述LED灯散热水箱的背面一侧间隔设有多片散热翅片，每片所述散热翅片沿所述LED灯散热水箱的长度方向上延伸、并与所述LED灯散热水箱的空腔长度相同。

5.根据权利要求4所述的抗光衰炉，其特征在于，每片所述散热翅片的高度相同，所述散热翅片的高度小于所述LED灯散热水箱的空腔的高度，所述LED灯散热水箱的两端分别设有用于连接L形支架的支架连接孔，所述LED灯散热水箱为铝构件，所述金属电路板为铜构件。

6.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述恒流源内设有核心电路板、前整流板、后整流板、电源板、风扇电源板、接口板、驱动板和控制面板，所述前整流板、后整流板、电源板、风扇电源板、接口板、驱动板和控制面板均与所述核心电路板连接，所述电源板输入220V交流电压经过前整流板整流成310V直流电、并输出至LC串联谐振逆变电路转换成20KHZ交流电，再经过电感和电解电容转换成直流电输出。

7.根据权利要求6所述的抗光衰炉，其特征在于，所述控制面板上设有温度显示器、电压显示器、电流显示器、功率显示器、用于调节电压的电压调节器和用于调节电流的电流调节器，所述控制面板上还设有电源开关；所述恒流源内还设有两个铝散热片、三个风扇、变压器、电感、两个交流电源，三个风扇均连接风扇电源板；所述恒流源外壳侧面和正面均设有散热网孔，所述恒流源外壳的正面两端分别设有多个U形卡扣和腰形安装孔；所述核心板由TMS320F28335、LC4064V核心芯片构成，通过TMS320F28335芯片的SPWM功能,实现全桥型零电压开关PWM控制，其中SPWM功能是在PWM的基础上改变了调制脉冲方式，脉冲宽度时间占空比按正弦规律排列，输出波形经过适当的滤波以正弦波输出。

8.根据权利要求2所述的抗光衰炉，其特征在于，所述炉支架的后侧间隔设有多个用于带走所述炉腔热量的炉腔散热风机，所述炉支架的上端间隔设有多个上散热风机；所述炉支架的前侧设有控制电箱；所述预热区上设有上预热炉和下预热炉，所述上预热炉和下预热炉上均间隔设有多个加热灯管，所述上预热炉和下预热炉之间具有供金属网状输送带通过的通道，所述上预热炉和所述下预热炉上均设有至少一个感温探头；所述冷却区上间隔设有多个向下吹风的散热风扇和向下吸风的风机装置。