[发明专利]升降门装置和晶片传输系统

摘要

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及升降门装置和晶片传输系统。该升降门装置包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块：连接模块用于连接腔室门和腔室，并与定位模块可活动连接；定位模块设置于与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，用于调节腔室门相对于腔室的距离，并限制传动模块在腔室的外壁的相对移动位置；动力模块设置于腔室的一端，与传动模块连接，用于为传动模块提供动力；传动模块设置于腔室与腔室门所在平面垂直的腔室的外壁，与定位模块可活动连接，用于在动力模块的动力驱动下沿平行于腔室门所在平面的方向移动。该升降门装置结构简单、装配调试简单，能准确限制腔室门的上升和下降，压紧和顶开过程中腔室门始终与腔室平行。

主权项

1.一种升降门装置，用于使腔室门能相对腔室远离打开或靠近关闭密封，其特征在于，包括连接模块、定位模块、传动模块和动力模块，其中：所述连接模块，用于连接所述腔室门和所述腔室，并与所述定位模块可活动连接；所述定位模块，设置于与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，用于调节所述腔室门相对于所述腔室的距离，并限制所述传动模块在所述腔室的外壁的相对移动位置；所述动力模块，设置于所述腔室的一端，与所述传动模块连接，用于为所述传动模块提供动力；所述传动模块，设置于所述腔室与所述腔室门所在平面垂直的所述腔室的外壁，与所述定位模块可活动连接，用于在所述动力模块的动力驱动下沿平行于所述腔室门所在平面的方向移动，进而带动所述腔室门相对所述腔室做远离或靠近的方向移动。